Научный журнал Отделения информатики, вычислительной техники и автоматизации РАН. Основные темы: разработка микроэлектронного оборудования, наноэлектроника, новые тенденции в субмикронной оптической технологии, разработки в области ионолитографии. Особое внимание уделяется новым технологиям и экспериментальным методикам.