Материаловедение и технология полупроводников, диэлектриков, магнитных материалов, проводящих материалов, многослойные композиции, структура и свойства поверхностей раздела; нетермические методы активации физических процессов, квантоворазмерные структуры и нанокристаллы; структура реальных кристаллов, методы изучения, моделирование процессов и материалов электронной техники